Функциональные характеристики |
|
Диапазон измерений по оси X |
280 мм |
Диапазон измерений по оси Z |
350 мм |
Измерение снизу |
возможно |
Измерение по оси X |
возможно |
Скорость измерений |
0,1 – 3,0 мм/с |
Скорость позиционирования |
до 25 мм/с |
Разрешение |
0,001 мкм |
Направляющие |
аэростатические |
Максимальная нагрузка на стол |
25 кг (50 кг TS-X HD) |
Точностные характеристики |
|
Суммарная погрешность измерений |
0,85 мкм + L/100 |
Расстояние между снимаемыми точками |
0,5 – 10 мкм |
Погрешность измерений радиуса |
± 0,005 % от номинального значения |
Погрешность измерения угла |
≤ 20” |
Измерение шероховатости |
|
Диапазон измерений по осям Z/X |
350/280 мм |
Диапазон измерений по Ra |
Ra ≥ 0,05 мкм |
Диапазон измерений по Rz |
Rz ≥ 0,5 мкм |
Погрешность измерений шероховатости |
5% |