Функциональные характеристики |
|
Диапазон измерений по оси X |
120 мм |
Диапазон измерений по оси Z |
30 мм |
Диапазон позиционирования по оси Z |
380 мм |
Скорость измерений |
0,03 – 1,75 мм/с |
Скорость позиционирования |
до 25 мм/с |
Разрешение |
0,01 мкм |
Максимальная нагрузка на стол |
30 кг |
Точностные характеристики |
|
Погрешность измерений по оси X |
± (2,7+3L/25) мкм |
Погрешность измерений по оси Z |
± (3,3+3L/25) мкм |
Расстояние между снимаемыми точками |
0,5 – 17 мкм |
Погрешность измерений радиуса |
± 0,05 % от номинального значения |
Погрешность измерения угла |
≤ 2’ |